碳基材料与器件跨尺度电镜检测平台（以下简称“平台”）是依托北京重庆碳基集成电路研究院，面向碳基CMOS工艺研发需求建设的高端微纳表征与检测平台。平台以碳纳米管（CNT）材料与器件为研究对象，聚焦从晶圆级材料评估到工艺过程监控、再到器件失效分析的全链条检测需求，致力于为碳基集成电路的研发与产业化提供高精度、高通量、多维度的表征技术支撑。

        平台定位为“国际先进、开放共享”的微纳检测中心，集微纳加工、表征于一体，服务于碳基电子学前沿研究、半导体工艺开发及相关产业技术攻关。